背景介绍

XY轴为精密气浮运动台，应用于加工，测试测量及半导体行业。由于非接触式移动，精度高和结构紧凑是行业内的理想选择。

结构优势

XY轴采用非接触式气浮导轨、直线电机驱动和光栅尺反馈装置组成整个系统，确保免维护运行。因为运动元件间没有机械接触，随着时间的推移，不会出现磨损或性能下降，使用寿命几乎是无限的，气浮导轨不需要润滑，只需要清洁及干燥的气体，是用户应用的理想选择。

应用前景

    该实验台的特点之一是动、静导轨均采用花岗石基座，特别是静压气浮导轨块可以采用不同的组合布局形式；该实验台的特点之二是采用自制的纳米级微进给驱动装置，可以进行超精密进给和定位测试。该实验台与双频激光干涉仪等测量仪器组合使用，可以开展各种新型气浮导轨块组合应用精度测试和性能比较。